电位的积聚、分布及衰减特性，用以分析沉积处理对表面电荷的抑制效果。
5.1 表面电位测量系统
本实验室搭建的表面电位测量系统采用的是 Kelvin 型静电探头，利用电容分压和感应电荷原理以测量样品的表面电位值。在忽略绝缘材料体内空间电荷影响的情况下，根据文献[138]可知，测量得到的表面电位值与表面电荷密度近似呈线性关系，而且比例系数为样品介电常数与厚度的商值。根据前文中的测量结果可知，外施电压频率与沉积处理对样品相对介电常数的影响并不大，而且样品的厚度均为 2 mm，因此本实验中将采用测量所得的表面电位具体值与分布情况来表征表面电荷的积聚特性。表面电位测量装置示意图如图 5.2 所示。测量装置中采用针-板结构的充电电极，其中高压电极采用直径为 1 mm、针尖曲率半径为 80 μm 的不锈钢针；待测样品则放置在 5 &nb
