SF6气体无色、无味、无毒、不可燃烧，在理论上是安全的。但是SF6气体分子量为146.07，密度约为空气的5 倍，容易沉积在空间底部，且不易扩散，若吸入过多，会导致工作人员头晕、呕吐等，严重时可能因窒息而导致死亡。同时，在SF6气体制造过程中，有可能混入一些有毒物质， 在断路器分合闸操作或切除故障短路电流时产生的电弧也会对SF6发生作用， 产生多种由硫、氟、氧、氢、碳等元素组成的化合物，如HF，SF4，SOF2等有毒物质。因此，随着SF6电气设备使用数量的增加，应高度重视SF6电气设备使用中的安全。
1 SF6电气设备室应有良好的通风系统
SF6电气设备室中，SF6电器相对集中， 空间相对封闭，SF6气体极易沉积在室内。因此，SF6电气设备室必须装设良好的通风系统（我国电力行业标准DL/T5035—2004 中明确指出：“SF6电气设备室及其检修室应设置机械通风，室内空气不允许再循环，室内空气中SF6的含量不得超过6 000 mg/m3）。”由于SF6气体较重，容易沉积在室内下部，所以抽风机应装设在建筑物的下方，以便SF6气体排出。工作人员进入室内前，应先开启通风设备一定时间（一般为15～30 min）。当有大量SF6气体泄漏时，也应开启通风设备，将SF6气体排出。对于新建的SF6电气设备室，应在设计时考虑通风设备。对于原有设备改造为SF6设备后，也应完善高压室下部的通风设备。另外，为保证人员安全，在人员未进入高压室时即可开启通风设备。该通风设备的控制开关应装设于高压室门外。对于通风装置应定期进行检查，发现问题及时处理。
2 注意SF6电气设备相关电缆沟的通风安全
由于SF6气体密度大，容易沉积在电缆沟内，如果不加注意， 当工作人员进入电缆沟内时， 容易造成窒息。因此，SF6电气设备处的电缆沟应严密封堵， 防止SF6气体沉积和沿电缆沟向其他沟内更低处流动、沉积。同时，在进入电缆沟工作前应进行通风，并派专人在地面对施工人员进行监护，发现异常，及时处理。
3 应定期对SF6电气设备进行检漏
为确保设备的正常运行和运行、检修人员的安全，除了要保证SF6电气设备气体压力的运行监测设备的完好，定期检查SF6压力表、密度计等监测设备，发现压力降低报警外， 还应定期用SF6检漏仪对SF6电器进行检漏，及时发现SF6气体的泄漏和确定故障点，采取防范措施， 有条件的还可在SF6高压室内装设测氧仪，当氧气含量过低时报警。一般来讲，氧气含量不得低于18%。
4 加强工作人员的培训，完善防护用品配置
应对工作人员进行教育培训， 使每个工作人员了解SF6气体的基本特性和在SF6电气设备上工作的安全要求。加强工作人员的自我防范意识，提高防护能力。如户外SF6电气设备泄漏时，工作人员应从上风处接近SF6设备，并穿长袖工作服。应注意完善工作人员防护用品的配置，如配备防毒呼吸器、专用防护服（设备解体大修时使用）、橡胶手套等。站内应有足够的水源，工作人员接触SF6气体后，应及时呼吸新鲜空气，并用水清洗手部、面部等。
5 加强SF6设备的管理
加强SF6设备的管理， 对SF6电气设备，SF6气体检测、试验设备及安全用具等，均应设专人管理、定期检查， 落实管理人员责任。备用SF6气体应储存在宽敞、通风良好的环境中，与运行设备进行相同的管理。制定完善的安全管理制度，工作人员应严格执行。试验室内进行SF6气体检测、试验工作，应参照运行设备安全措施开展工作。SF6设备解体大修前，应在制定施工安全措施后方能进行。在安装、使用、检测过程中，应做好SF6气体的回收工作， 尽量减少SF6气体向大气的排放。
