压电陶瓷偏摆镜机械控制单元的研究

压电陶瓷的驱动电压的变化。对压电偏摆台内部柔性制动器及偏转连接机构的机制进行了分析，并对位置信号采集所用的电阻应变片式传感器的原理和直流电桥电路结构进行了分析。 
2、为了实现压电陶瓷偏摆镜的精密伺服控制，搭建了硬件电路平台。主要包括控制模块、驱动模块和检测回路模块三个部分。控制模块采用 DSP28335 为主控芯片，利用 FPGA 作为串行数据与并行数据之间的转换接口，利用 AD 芯片与 DA 芯片进行数字信号与模拟信号之间的转换；驱动模块主要包括两级运放，前级运算放大器采用的